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真空镀膜设备的操作工艺流程
编辑:中山市天元真空设备技术有限公司   发布时间:2018-08-18

真空镀膜设备操作工艺流程:

首先开水、电、气→总电源→开维持泵→开扩散泵加热→开粗抽泵→开预抽阀→关预抽阀→开粗抽阀→开罗茨泵→如有离子轰击,开轰击30秒,关轰击→开真空计→当真空到6.0~7.0pa时,关粗抽阀→开前置阀→开精抽阀,当真空达到7x10-3pa,开转架→开始镀膜操作→镀膜完毕后,关闭真空计、离子源→关精抽阀,前置阀→关罗茨泵→开抽气阀,取件→上料,反复开始操作。


真空镀膜设备特别注意:


1、  设备停用时,镀膜室要保持真空状态,减少内表面气体的吸附,防止氧化。


2、  冷却水通道场下才能对扩散泵进行加热,未经充分冷却的泵不得与大气接触,防止氧化。


3、  要保证机器内扩散泵和机械泵的油定期检查和更换。


4、  真空镀膜设备运行中遇有停电或其它事故发生,须先停扩散泵,关精抽阀,前置阀和真空计。


5、  产品做完下班后,关了扩散泵后须待温度降低至60℃后才能关维持泵。

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